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湖北三峡实验室:微电子关键化学品研发实现新突破

   日期:2022-09-08     浏览:217    评论:0    
核心提示:近日,从湖北三峡实验室微电子化学品研发中心传来好消息,微电子关键化学品研发实现新突破。芯片制造有数百道工序,每两道工序之间都会用到大量的电子化学品,研发各类功能性电子化学品是微电子化学品研发中心所承担的重任。目前,实验室针对性的去开发蚀刻液,主要是用于半导体芯片制造过程中二氧化硅

近日,从湖北三峡实验室微电子化学品研发中心传来好消息,微电子关键化学品研发实现新突破。

芯片制造有数百道工序,每两道工序之间都会用到大量的电子化学品,研发各类功能性电子化学品是微电子化学品研发中心所承担的重任。目前,实验室针对性的去开发蚀刻液,主要是用于半导体芯片制造过程中二氧化硅层的蚀刻和清洗,以前受国外技术的封锁和垄断,国内全部依赖进口。湖北三峡实验室在国内首次掌握了该产品的核心生产技术,目前产品已进入测试阶段。

目前湖北三峡实验室已经形成了系列的配方,产品申请了知识产权保护该款产品已经进入到了中试测试阶段,正在客户端进行测试,预计2022年底可以实现供应。除了磷石膏综合利用微电子关键化学品湖北三峡实验室还有其他4大研究方向,包括磷基高端化学品、硅系基础化学品、新能源关键材料、和化工高效装备与智能控制。11位行业专家领衔,担任实验室首席科学家265名专职研发人员正全力以赴攻克更多科技难题,助力宜昌打造区域科技创新中心。

 
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