研究各种各样的材料,并进行结构和成份表征,是目前对扫描电镜 的主流应用要求。FEI Quanta™ 系列灵活、通用,足以应对当今人们 广博的研究方向这一挑战。“分析任何样品,得到所有数据”,在 Quanta上可得到表面像和成份像,并可辅以多种附件来确定材料的 性质和元素组成。 当今人们利用扫描电镜研究的材料早已超出单纯的金属和经导电 处理过的样品。Quanta对任何样品都可得到高质量的图像和分析结 果。无论是对现今的或是将来的应用领域,FEI的Quanta 50系列都是 一个高端的、灵活的解决方案。其特点是,具有高真空、低真空和 ESEM™环境真空三种真空模式,适合分析最广泛的样品范围,从传 统的金属材料、断口和抛光断面,到不导电的软物质。 Quanta系列用户界面使用起来十分方便、灵活,有多种功能最大 程度地发挥其使用效率,并且允许采集所有需要的数据。它是电 镜专家设计来给电镜专家使用的仪器,性能远不止“简便易用” 。这些功能有:特有的图像导航功能包括蒙太奇图像导航、鼠标 双击样品台移动、鼠标拖曳放大居中功能以及其它标准的特色 术;SmartSCAN™,一种智能扫描技术,能降低信号噪音,提供更好 的数据;电子束减速模式,一个新的选项,将钨灯丝扫描电镜的低 加速电压性能提高到一个全新的水平;Nav-Cam™ 彩色图像导航器及 新开发的探测器也大大增加了其灵活性。 更多数据、更多灵活性、更高效率,Quanta系列使您的投资更具价 值。 主要优点 • 在各种操作模式下分析导电和不导电样品, 得到二次电子像和背散射电子像 • 最大程度降低样品制备要求:低真空/环境真 空技术使得不导电样品和/或含水样品不经导 电处理即可直接成像和分析,样品表面无电 荷累积现象 • 专利的“穿过透镜”的压差真空系统,对导 电和不导电样品都可进行EDS/EBSD分析,不 管是在高真空模式或在低真空模式。稳定的 大束流(最大 2 μA)确保能谱及EBSD分析工作 的快速、准确 • 电镜可作为一个微观实验室。安装特殊的原 位样品台后,在从- 165 °C到1500 °C温度范围 内,对多种样品保持其原始状态下进行动态 原位分析 • 对导电样品,可选用减速模式得到表面和成 份信息 • 直观、简便易用的软件,即使电镜新手也能 轻易上手
Product Data Quanta™ 250 Page 2 典型应用: 纳米表征 • 金属及合金, 氧化/腐蚀, 断口, 焊点, 抛光断面, 磁性及超导材料 • 陶瓷, 复合材料, 塑料 • 薄膜/涂层 • 地质样品断面, 矿物 • 软物质: 聚合物, 药品, 过滤膜, 凝胶, 生物组织, 木材 • 颗粒, 多孔材料, 纤维 原位过程分析 • 增湿/去湿 • 浸润行为/接触角分析 • 氧化/腐蚀 • 拉伸 (伴随加热或冷却) • 结晶/相变 纳米原型制备 • 电子束曝光 (EBL) • 电子束诱导沉积(EBID) 主要参数 电子光学 • 高性能电子光学镜筒,双阳极热发射电子枪 • 固定式物镜光阑,使用方便 • 45°锥度物镜极靴,及“穿过透镜”的压差真空系统 • 加速电压: 200 V - 30 kV • 束流:最大2 μA并连续可调 • 放大倍数: 13 x – 1,000,000 x 分辨率 • 高真空 – 30 kV下3.0 nm (SE) – 30 kV下4.0 nm (BSE) * – 3 kV下8.0 nm (SE) • 高真空下减速模式* – 3 kV下 7.0 nm * • 低真空 – 30 kV下3.0 nm (SE) – 30 kV下 4.0 nm (BSE) – 3 kV下10 nm (SE) • 环境真空 (ESEM) – 30 kV下3.0 nm (SE) 检测器 • E-T二次电子探头 • 大视场低真空气体二次电子探头 (LFD) • 气体二次电子探头 (GSED) • 样品室红外CCD相机 • 高灵敏度、低电压固体背散射探头* • 气体背散射探头* • 四分固体背散射探头* • 闪烁体型背散射探头/CLD* • vCD (低电压高衬度探头)* • 电子束流检测器* • 分析型气体背散射探头 (GAD)* • Nav-Cam™ – 光学相机彩色成像,用于样品导航* • 阴极荧光探测器* • 能谱* • 波谱* • EBSD* 真空系统 • 1个 250 l/s 涡轮分子泵, 1个机械泵 • 专利的“穿过透镜”的压差真空系统 • 电子束在气体区域的行程:10 mm或2 mm • 可升级成无油机械泵 • 样品室真空度 (高真空模式) < 6e-4 Pa • 样品室真空度(低真空模式) < 10 to 130 Pa • 样品室真空度(环境真空模式) < 10 to 2600 Pa • 典型换样时间: 高真空模式≤ 150秒;低真空及环境真空模式 ≤ 270秒(FEI标准测试程序) 样品室 • 左右内径284 mm • 10 mm分析工作距离 • 8个探测器 / 附件接口 • EDS采集角: 35° 样品台 • X/Y = 50 mm • Z = 50 mm (其中马达驱动25 mm) • 手动倾斜:- 15° to + 75° • 连续旋转360° • 重复精度: 2 μm (X/Y方向) • 全对中样品台 *选项
样品座 • 多样品座 • 单样品座 • 适用于硅片或其它特殊要求的样品座* 系统控制 • 基于Windows® XP 操作系统的32位图形用户界面, 键盘,光电鼠标 • 1个/2个* 19寸液晶显示器, 分辨率1280 x 1024 • 软件驱动的输入/输出共享器* • 游戏操纵杆* • 多功能控制板* 图像处理器 • 最大4096 x 3536像素 • 图像文件格式:TIFF (8 or 16 bit), BMP or JPEG • 单窗口或四窗口图像显示 • 四活动窗口 • 实时或静态信号按彩色或按灰度等级混合 • 256 帧平均或积分 • 数字动画记录 (.avi格式) • 直方图及图像测量软件 支持软件 • SmartSCAN™ 智能扫描技术 • 蒙太奇图像导航 • 软件温度控制 • FEI动画生成工具 系统选项 • 减速模式 • 多功能控制板 • 支持计算机 (包括第二个19寸液晶显示器) • 软件控制的Peltier冷台 • 软件控制的WetSTEM™ • 软件控制的1000 °C热台 • 软件控制的1500 °C热台 • 游戏操纵杆 • 样品电流探测 • 远程控制 • 视频打印机 • 样品座套件 • 机械泵隔音罩 • 7针或52针电气接口 • 静电电子束束闸 • 波谱仪接口 • 更换成无油机械泵套件 • 辅助气体接口 (采用非水气体) 通用第三方附件 • 能谱仪 • 波谱仪 • EBSD • 冷台 • 阴极荧光谱仪 • 样品电流探测器 • 纳米机械手 • CAD导航 • 电子探针台 软件选项 • 远程控制/观察软件 • 图像分析软件 • 基于Web的数据库软件 • 高度分布/粗糙度测量软件 支持文档 • 在线帮助 • 入门培训CD • RAPID™ (远程诊断软件) • 免费连接到FEI用户群在线资源库 • 免费加入FEI环境扫描用户俱乐部 安装要求 (更多的数据请参考“预安装手册”) • 电源: 电压 230 V (+ 6 %, - 10 %), 频率 50 or 60 Hz (+/- 1 %) • 耗电量: 电镜基本系统< 3.0 kVA • 接地: < 0.1 Ω(欧洲标准) • 场地环境: 工作温度 15 °C - 25 °C; 相对湿度 < 80 % (无冷凝);残余交流磁场 < 100 nT(非同步频率,水平X/Y方向), < 300 nT (同步频率,水平X/Y方向) • 门宽: 90 cm • 重量: 主机重量约450 kg • 干燥氮气(推荐使用): 0.7 - 0.8 bar, 放气时最大流速 10 l/min • 噪音: < 68 dBC (需场地测试确定) • 振动 (需场地测试确定) • 减振台可选 节能措施 • Energy Star认证的显示器和工作站 • 无需冷却水和空压机 *选项