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LED显微曝光系统

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所在地: 江苏 无锡市
有效期至: 长期有效
最后更新: 2023-10-09 09:40
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公司基本资料信息
详细说明
 介绍:
1)显微镜 LED曝光系统 UTA系列,为不需使用光罩即可以完成Pattern曝光的投影式曝光设备。
2)使用金相显微镜和 LED 光源 DLP 光机,即可在涂布光阻的基板上进行数个微米 分辨率的曝光。
3)Pattern 形状可以使用计算机绘图自由制作。
4)可在一般环境操作,样品外观及尺寸限制小,价格比一般电子束曝光机更便宜、方便性更高,可以大幅降低研发成本。




使用案例:
1、形成薄膜 FET 以及 Hole 效果量测用试料之电极。
2、Mo 原石取出薄片,形成原石特性评估的电极。



特色:

1、使用显微镜和 DLP 组合之曝光系统,可比既有系统拥有更具竞争性之价格。
2、软件操作简便,可以自由绘制曝光Pattern。
3、透过物镜倍率选择,调整曝光范围大小与分辨率。
4、可以制造微米等级尺寸的 Pattern 。
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