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成都真空设备厂家 半导体制程PVD沉积台 可定制

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品牌: 超迈光电
单价: 1000000.00元/套
起订: 1 套
供货总量: 10 套
发货期限: 自买家付款之日起 100 天内发货
所在地: 四川 成都市
有效期至: 长期有效
最后更新: 2023-12-08 18:29
浏览次数: 64
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公司基本资料信息
详细说明
●本装置使用电阻蒸发、电子束蒸发和离子源辅助清洗、辅助沉积和原位刻蚀进行复合,用于制备特种薄膜,薄膜具有均匀性、附着力、抗损伤、低颗粒物污染等特点,是半导体制程中关键工序的核心装备,其技术长期被美国、日本等国技术巨头所垄断,属于国内卡脖子装备,也是制约国内半导体领域自主可控的关键设备,该设备的技术突破和产业化对国内半导体产业发展具有积极意义。
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