成都真空设备厂家 半导体制程PVD沉积台 可定制

 
 
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更新 2024-07-22 09:51
 
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成都汉普升科技有限公司

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  • 四川-成都市
  • 上次登录 2023-12-11
  • 13683458179
  • 胡先生 (先生)   销售
详细说明
●本装置使用电阻蒸发、电子束蒸发和离子源辅助清洗、辅助沉积和原位刻蚀进行复合,用于制备特种薄膜,薄膜具有均匀性、附着力、抗损伤、低颗粒物污染等特点,是半导体制程中关键工序的核心装备,其技术长期被美国、日本等国技术巨头所垄断,属于国内卡脖子装备,也是制约国内半导体领域自主可控的关键设备,该设备的技术突破和产业化对国内半导体产业发展具有积极意义。
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