该设备由罐体工作室(不锈钢或航空级铝合金结构)、设备机架、真空手动挡板阀、机械泵、放气闸或针闸、管路与接口、真空计、照明、射频电源、标准件、配件、附件构成。
它是利用低真空状态下工艺气体因电场的作用,产生辉光放电,将工艺气体电离成离子流,轰击工件表面,使其产生物理化学反应,达到清洗目的。
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该设备由罐体工作室(不锈钢或航空级铝合金结构)、设备机架、真空手动挡板阀、机械泵、放气闸或针闸、管路与接口、真空计、照明、射频电源、标准件、配件、附件构成。
它是利用低真空状态下工艺气体因电场的作用,产生辉光放电,将工艺气体电离成离子流,轰击工件表面,使其产生物理化学反应,达到清洗目的。