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成都真空设备厂家 surpass电磁耦合磁控溅射 可定制

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品牌: 超迈光电
单价: 1000000.00元/套
起订: 1 套
供货总量: 10 套
发货期限: 自买家付款之日起 100 天内发货
所在地: 四川 成都市
有效期至: 长期有效
最后更新: 2023-12-09 20:45
浏览次数: 102
询价
 
公司基本资料信息
详细说明
 ●该设备为公司根据客户工艺需求定制,与中国科学院某研究所国家重点实验室联合研制,先后获得奖励3项,联合申报国家专利2项,用于固体润滑、防腐和超硬表面改性等领域,服务于科研和国家重大项目需求,具有多功能、高稳定和国内首创的特点,欢迎各位联合研制。

 

●设备主要由真空腔体、真空系统、工件盘系统、烘烤系统、溅射系统、离子轰击系统、充气系统和在线测量系统组成,同时匹配空气压缩气体气源和水冷系统,可根据客户使用需求定制。

●真空腔体:φ900x1050,双层水冷;(可根据实际需求定制)

●真空系统:分子泵+低温泵+罗茨泵+机械泵复合真空系统;

●真空抽速:4000-7000L/S,进口全量程复合真空计,全金属防爆真空规;

●极限真空:6.7X10-5Pa;(根据客户选择主泵确定);

●磁控靶组件:4个矩形靶,4个圆柱靶,根据客户实际需要匹配中频、射频、脉冲直流溅射电源;

●离子源:2套线性离子源,匹配专用电源;

●气路:4路反应气体,进口质量流量计,1路毛细保护气路;

●烘烤温度:400℃,不锈钢铠装加热器,可拆卸快装结构;

●工件盘:导轨多工位行星工件盘2套(标准配置为12工位和24工位,可扩展数百件工件共同沉积),工件盘装夹移动小车一辆;

●控制系统:西门子PLC+西门子人机界面+工业控制计算机。

 

●特别说明:该设备为公司与中科院某所合作研制,获得国家科技进步、国家科技发明奖、机械工业科技进步一等奖和中科院重大设备专项等奖励,公司提供一揽子技术解决方案,同时与合作伙伴共享知识产权。

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